参加过无阳间光刻区的一又友，应该齐知说念光刻区里用的齐是黄灯，这个看似很简便的问题的背后却蕴含了好多鲜为东说念主知的道理，我见过有的新建的试验室，为了省钱，找了一些莫得警告的施工方，松驰买了一些黄灯管装在光刻区。这个万万不可取，选拔黄光灯时亦然有郑重的。
光刻胶的构成？
之前的著作有先容过光刻胶的构成，见著作：
揭秘传统I-line光刻胶配方
后光的构成？
紫外线：10纳米到400纳米
可见光：
紫色：约400纳米到450纳米
蓝色：约450纳米到495纳米
绿色：约495纳米到570纳米
张开剩余76%黄色：约570纳米到590纳米
橙色：约590纳米到620纳米
红色：约620纳米到750纳米
红外线：750纳米到1毫米
其中光刻胶的感光界限不竭位于200nm-500nm，这意味着在这个界限内的后光不错激勉光刻胶的化学响应。从上文不错看到,200-500nm的后光有紫外线，紫光，蓝光。因此这三种后光在光刻区是少量也不成存在的。
光刻区为什么选黄光灯？
阻滞紫外线：
黄光的波永久离UV界限，因此不会引起光刻胶的未必曝光。黄光灯不竭不含有紫外线，从而保护光敏材料免受无须要的曝光。
减少眩光
黄光比白光或其他神采的光更柔软，因此它不太可能在成立或晶圆的名义产生扎眼的反射或眩光。这有助于操作员更准确地进行责任。
神采准确性
使用黄光不错确保在光刻历程中，神采明锐的化学品或其他材料的神采不会受到其他光源的影响或失真。这有助于操作员更准确地判断和惩办材料，确保制造历程的一致性。
闲隙肠
相干于其他光源，黄光对东说念主眼更为友好，尤其是在长技能的操作下。减少眼睛的疲顿和刺激，关于长技能在光刻区责任的职工来说，这少量特殊迫切。
为什么不使用红光或绿光？
红光和绿光的波长齐大于500nm，然则咱们却选拔了黄光，这是因为诚然红光和绿光对光刻胶没影响，然则对东说念主员的影响确乎很大。红光可能使细节更难以识别，而绿光可能对眼睛产生更多的眩光。也即是红光和绿光对东说念主不友好，是以弃用。
黄光灯里唯有黄光吗？
黄光这个术语涵盖了一个较宽的波长界限，从约570纳米到620纳米。这个界限内，光的神采不错从深黄色变为橙色。因此，有时光刻室内的灯具可能会发出接近橙色的黄光。
总的来说，光刻室的照明不一定是纯黄光，而可能是黄色到橙色的夹杂，要津是这些波长的光不会对光刻胶酿成无须要的曝光。
黄光灯的类型？
当年：钠蒸气灯
现在：LED
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